MEMS与SOC结合拥有巨大前景

　　通常情况下，MEMS产品可以用与半导体产品相同或者类似的方法来制作，半导体微细加工中的光刻、、刻蚀、清洗等加工工艺同样适用于MEMS产品制造。MEMS产品可以在Fabless或者系统整机生产厂家中设计好后，委托给集成电路Foundry工厂来制作。但加工工艺和产品测试方法等又稍不同于IC制造，从而形成了半导体微细加工的一个新领域。

　　MEMS在电子产品中所起的作用与IC既密切相关又有明确而不同的分工。IC相当于人的大脑，其工作的主要对象是数据和信息，通过对数据进行分析、计算和处理，将处理结果通知给机器中的其他执行功能部件来执行;而MEMS的作用相当于人的四肢，其主要功能有两种：一是及时反映运行中的机器状态，将这种状态转变成电信号，及时传递给IC来处理;二是接受和执行来自IC的数据指令，实现对机器系统的运行控制。

　　IC与MEMS二者紧密配合，实现现代智能化电子产品的闭环运行。没有MEMS无法响应和执行IC的具体指令，机器将成为“无感觉和无行为能力”的机器;而没有IC，机器将成为“没有头脑”的非智能化传统机械。

　　作为MEMS类功能的产品实现，其作用相当于人的五官感知功能，用于将自然界中的物理量转变为可供电脑处理的信息数据。如MEMS麦克风、全硅振荡器、MEMS陀螺仪等。其中应用广多的是MEMS传感器，一切自然界中的力、电、磁、化学成份、重量、声音、光、气味、运动(速度、位置和方向的改变，震动，冲击，倾斜，旋转)、图形图象识别等，都是传感器的应用领域，而MEMS工艺则使以往的普通工艺制造的传感器能耗和体积更加缩小、灵敏度和性能进一步提高、生产成本大幅度下降，并实现了许多以往无法实现的功能。
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