EJA测量压力信号依托受力情况是关键

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EJA结构原理核心当属单晶硅，其可以起到免除阻尼的影响，从而使得EJA的性能更好，对于EJA测量压力信号，EJA的受力情况也是比较关键的。
  当EJA的单晶硅片上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变，中心处受至压缩力，边缘处受到张力，因而EJA的两个形状振梁分别感受不同应变作用，其结果是EJA中心谐振梁受压缩力而频减少，边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号，这样就实现了EJA对不同压力信号的测量。
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